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ABB計劃推出傅立葉變換式紅外線分光儀-WPA
ABB計劃推出傅立葉變換式紅外線分光儀-WPA
http://www.twesms.com
2015年09月19日
ABB計劃推出傅立葉變換式紅外線分光儀-WPA,通過對藥液進行實時監(jiān)測,不僅能夠提高最終產(chǎn)品的質(zhì)量與成品率,同時還能減少藥液的用量和廢棄量。
WPA是一種傅立葉變換式紅外線分光儀,利用光纖連接用于半導(dǎo)體制造工藝的檢測單元“ClippIR+”。在不發(fā)生污染的非接觸狀態(tài)下,最多可對8個測量點進行管理。測量對象達30多種,包括氫氧化銨(NH4OH)、過氧水(H2O2),鹽酸(HCL)、氫氧化鉀(KOH)、氟化銨(NH4F)、氟化氫(HF)和醋酸(Acetic Acid)等。不論溶液中是什么成分,每個測量點只需51秒即可完成測量。
由于能夠?qū)⒎治鱿到y(tǒng)本身安裝在離測量點最遠為100m的位置,因此能夠在沒有藥液的空氣環(huán)境中進行管理,還可與控制系統(tǒng)結(jié)合使用。由于ClippIR+尺寸很小,因此不需改造生產(chǎn)線即可配置。而且采用了含氟樹脂加工,耐腐蝕。此外,還安裝了用于濕式工藝的管理與控制專用軟件。該軟件除顯示各測量點藥液成分、濃度和趨勢,保存數(shù)據(jù)等功能外,還具有一旦相關(guān)數(shù)據(jù)超過容許范圍就會報警的功能。
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