高真空精密機(jī)組的技術(shù)特性及使用維護(hù)
摘 要：介紹了真空機(jī)組的技術(shù)設(shè)計(jì)及機(jī)組特點(diǎn)；闡述了真空機(jī)組的工作原理和結(jié)構(gòu)特性與技術(shù)特性；對(duì)真空機(jī)組如何進(jìn)行調(diào)試與維護(hù)進(jìn)行了敘述；分析了真空機(jī)組容易出現(xiàn)的故障以及故障的排除方法。提出開展標(biāo)準(zhǔn)化工作對(duì)于保證設(shè)備處于良性運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的重要作用與積極意義。
關(guān)鍵詞：真空、原理、故障、維護(hù)
前言
真空技術(shù)在冶金工業(yè)中應(yīng)用主要有兩個(gè)方面，一方面是真空冶金；一方面是金屬的真空處理。前者包括：真空蒸餾、真空還原、真空精制、真空熔煉、真空結(jié)晶、真空干燥、真空過濾和真空輸送等過程；后者包括：真空熔化和真空燒結(jié)等過程。因此從事冶金工程的科技人員必須了解真空過程的基本原理和獲得真空的各種設(shè)備的構(gòu)造和性能。
一、真空機(jī)組的技術(shù)設(shè)計(jì)及特點(diǎn)
真空泵分為三大類，即機(jī)械真空泵、噴射泵和擴(kuò)散泵。前兩者是用于獲得低真空的設(shè)備；后者是用于獲得高真空的設(shè)備，擴(kuò)散泵工作時(shí)要求先用機(jī)械泵或噴射泵產(chǎn)生一定的預(yù)備真空。因此為獲得高真空往往需要將幾個(gè)不同類型的真空泵串聯(lián)組成高真空機(jī)組來使用。而構(gòu)成如圖所示的真空系統(tǒng)。
由圖可見，一個(gè)高真空系統(tǒng)一般是由被抽容器、擴(kuò)散泵、機(jī)械真空泵、管道、閥門和真空計(jì)構(gòu)成。但在金屬的真空蒸餾過程中，對(duì)真空度及真空環(huán)境要求較為苛刻，按照工藝要求我們從技術(shù)上對(duì)真空設(shè)備進(jìn)行了設(shè)計(jì)。其特點(diǎn)如下：
它是一套特殊的綜合泵組高真空抽氣設(shè)備，專供獲得潔凈真空的系統(tǒng)、排除空氣或其它對(duì)泵油和泵組結(jié)構(gòu)材料不起腐蝕作用的氣體及蒸汽。
（1）系統(tǒng)能夠獲得潔凈的高真空度
①機(jī)組采用了利用國(guó)外先進(jìn)技術(shù)生產(chǎn)的DFYK系列高真空油擴(kuò)散泵。它是由擴(kuò)散泵、水冷帽組成的單一整體結(jié)構(gòu)，最主要特點(diǎn)是清潔、返油率比普通擴(kuò)散泵底四個(gè)數(shù)量級(jí)。因此不加冷阱擋板閥也能保證系統(tǒng)的清潔和高真空度。
②機(jī)組在系統(tǒng)上安裝了液氮、干冰冷阱，絕對(duì)保證了系統(tǒng)的清潔和高真空度。
（2）機(jī)組采用電磁高真空擋板閥，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制，使操作更的心應(yīng)手。
（3）高真空機(jī)組的系統(tǒng)均采用不銹鋼材料制成，各部的連接采用快卸連接標(biāo)準(zhǔn)，設(shè)備保養(yǎng)非常方便。
這些機(jī)組特性基本滿足了金屬真空蒸餾的工藝要求，保證了產(chǎn)品質(zhì)量。
二、設(shè)備的工作原理及特性
1.工作原理
真空泵開始工作以前，整個(gè)系統(tǒng)（被抽容器、導(dǎo)管、真空泵）的壓強(qiáng)是相同的，全部氣體均不流動(dòng)。當(dāng)機(jī)械泵運(yùn)轉(zhuǎn)以后，氣體開始從容器沿導(dǎo)管進(jìn)入機(jī)械泵，當(dāng)前級(jí)泵（機(jī)械泵）將擴(kuò)散泵內(nèi)抽止10Pa左右的預(yù)真空后，在室溫下工作液由加熱器加熱，產(chǎn)生的油蒸汽沿導(dǎo)管向上運(yùn)動(dòng)，經(jīng)幾級(jí)噴出，將擴(kuò)散在油蒸汽中的氣體帶到前級(jí)端，使其逐漸集結(jié)，達(dá)到機(jī)械泵能夠作用的范圍由前級(jí)泵（機(jī)械泵）排除到大氣中。油蒸汽噴射在泵壁后，遇到冷卻后，又回到泵底，由此反復(fù)工作達(dá)到高真空目的。
2.機(jī)組特性
（1）結(jié)構(gòu)特性
高真空機(jī)組包括：DFYK擴(kuò)散泵、冷阱（液氮、干冰）、高真空擋板閥、沖氣閥、預(yù)抽閥和前置閥、吸附井、機(jī)械真空泵、復(fù)合真空計(jì)等組成。這樣的組合對(duì)于提高真空環(huán)境的潔凈度是非常有保障的。
（2）技術(shù)特性
①擴(kuò)散泵的主要參數(shù)如下：